超纯水设备的出水水质标准通常非常严格，以满足各种高精度实验和工业生产的需求。以下是主要的出水水质标准：

1. 电阻率：是衡量超纯水质量的关键指标。根据国际标准如ASTM Type 1级，要求超纯水的电阻率超过18.2 MΩ·cm（25℃时），相应的电导率则在0.056μS/cm以下。我国GB33087-2016标准也要求超纯水的电阻率至少为18 MΩ·cm（25℃）。

2. 总有机碳（TOC）：要求超纯水的TOC值非常低，通常在50μg/L以下，以确保水中有机物含量极低。

3. 内毒素：超纯水中的内毒素含量应低于0.03EU/ml，以避免对实验或生产造成干扰。

4. 微生物：虽然没有直接设定具体的微生物指标，但ASTM标准提出了对不同微生物的要求。具体标准通常由各国或地区公共卫生机构制定，如总菌落数、大肠杆菌等。某些高端纯水机的微生物标准可达到<1 CFU/1000ml，确保水的极高微生物质量。

此外，不同应用领域如半导体、制药等，还可能有更具体的水质要求，如离子含量、溶解氧等。因此，在选择超纯水设备时，需要根据实际应用需求来确定合适的水质标准。